真空環(huán)境光譜共焦傳感器無需直接接觸被測物,避免了傳統(tǒng)接觸式測量可能帶來的污染或損傷風(fēng)險,尤其適合脆弱、柔軟材料或復(fù)雜形狀物體的檢測。理論上波長可無限細(xì)分,結(jié)合特殊設(shè)計的鏡頭可實現(xiàn)納米級分辨率,滿足精密/超精密制造、半導(dǎo)體量測等領(lǐng)域的需求;同時,自動聚焦功能確保在量程范圍內(nèi)無論物體位置如何變化均能準(zhǔn)確捕捉數(shù)據(jù)。
真空環(huán)境下消除了空氣分子對光束傳播的影響,進(jìn)一步提升了穩(wěn)定性和可靠性;此外,傳感器內(nèi)部僅含鏡頭結(jié)構(gòu)且不發(fā)熱,溫度漂移小,適用于微米及亞微米級別的測量場景。支持高速數(shù)據(jù)采集與處理,例如每秒可達(dá)100萬3D點的測試速度,提升生產(chǎn)效率;并可集成到自動化生產(chǎn)線中實現(xiàn)在線質(zhì)量監(jiān)控。探頭耐用無損,使用壽命長;其標(biāo)準(zhǔn)化接口便于與計算機輔助系統(tǒng)或其他工業(yè)設(shè)備聯(lián)動,適配多樣化的應(yīng)用需求。
真空環(huán)境光譜共焦傳感器的使用注意事項:
1.環(huán)境控制方面
-溫度管理:注意環(huán)境溫度的變化,因為環(huán)境溫度每變化10℃,本機內(nèi)部溫度相應(yīng)調(diào)整大約需要60分鐘,所以應(yīng)在接通電源后放置約30分鐘再使用,且盡量保持環(huán)境溫度恒定,避免因溫度波動造成測量誤差。
-真空度維護(hù):密切關(guān)注真空系統(tǒng)的運行狀態(tài),確保真空度始終處于穩(wěn)定且合適的范圍內(nèi),防止因真空度過低或不穩(wěn)定而干擾測量過程。
2.設(shè)備操作規(guī)范
-避免碰撞:在操作過程中要小心謹(jǐn)慎,防止傳感器受到外力撞擊或振動,以免損壞其精密部件,影響測量精度和使用壽命。
-清潔保養(yǎng):定期清潔傳感器的光學(xué)窗口和其他關(guān)鍵部位,去除灰塵、油污等雜質(zhì),保證光線的正常傳輸和接收;但要注意使用合適的清潔工具和方法,避免刮傷鏡片或其他敏感元件。
3.信號指示燈關(guān)注:依據(jù)設(shè)備面板上的LED信號指示燈顏色來判斷暗信號處理結(jié)果,綠色表示暗信號水平滿足所有測量頻率要求;橙色表示當(dāng)前暗信號水平過高,但仍可滿足高頻率測量應(yīng)用;紅色則表示當(dāng)前暗信號水平過高,不適宜進(jìn)行測量。
4.特殊材料測量考量:當(dāng)測量強吸光材料(如黑色橡膠)或透明材料(如玻璃或者液體)時,要充分了解材料特性對測量的影響,必要時調(diào)整測量參數(shù)和方法以確保獲得準(zhǔn)確可靠的結(jié)果。
5.柔性樣品處理:對于柔性玻璃等易變形的材料,需在無應(yīng)力狀態(tài)下測量,建議使用真空吸附治具固定邊緣,以減少應(yīng)力引入導(dǎo)致的測量偏差。